Piezo Motor Linear Stages | Bàn dịch tuyến tính động cơ Piezo chính xác cao Newport (MKS Instruments)
Các Piezo Motor Linear Stages của Newport | MKS Instruments sử dụng công nghệ Piezo Inertia hoặc Piezo Stack Actuator, cho phép điều khiển chuyển động tuyến tính với độ phân giải nanomet và phản hồi nhanh vượt trội.
Dòng sản phẩm này được tối ưu cho các ứng dụng cần định vị siêu chính xác, tốc độ cao và độ ổn định lâu dài, như quang học, metrology, vi cơ học và bán dẫn.
Mô tả
Tính năng nổi bật
-
Sử dụng Piezo Motor hoặc Piezo Inertia Drive với độ phân giải tới <1 nm.
-
Dải hành trình từ 0.2 mm đến 25 mm, đáp ứng cả vi dịch chuyển và tầm di chuyển mở rộng.
-
Tốc độ điều khiển cao, phản hồi gần tức thời, không trễ cơ học.
-
Tích hợp cảm biến vị trí nội bộ (encoder feedback) cho độ chính xác tuyệt đối.
-
Hoạt động không ma sát, không cần bôi trơn, tăng tuổi thọ cơ cấu.
-
Thiết kế nhỏ gọn, tương thích hệ XYZ multi-axis hoặc module quang học.
-
Có thể điều khiển qua Piezo Controller, Motion Controller, hoặc giao thức LabVIEW / RS-232 / USB.
-
Hỗ trợ phiên bản vacuum-compatible cho môi trường chân không cao hoặc siêu sạch.
Ứng dụng trong các lĩnh vực
-
Căn chỉnh chùm tia laser, hệ giao thoa quang học.
-
Định vị mẫu trong hiển vi quét (AFM, SEM, confocal microscopy).
-
Lắp ráp sợi quang, ghép nối photonics chip, bộ chia quang tích hợp.
-
Hệ thống đo quang phổ, cảm biến, và điều khiển mô-đun quang.
-
Định vị wafer, thấu kính, hoặc phần tử quang chính xác trong sản xuất bán dẫn.
Các dòng Piezo Linear Stage phổ biến của Newport
| Series | Loại truyền động | Hành trình (mm) | Độ phân giải | Đặc điểm nổi bật |
|---|---|---|---|---|
| PZA Series | Piezo Stack Actuator | 0.2 – 20 | <1 nm | Độ phân giải cực cao, phản hồi nhanh |
| PILine® Series | Piezo Inertia Motor | 5 – 25 | <10 nm | Tốc độ cao, chạy êm, không trượt |
| NPS-X100 / NPS-Z100 | Piezo Flexure | 100 µm | 1 nm | Ổn định nhiệt, phù hợp hệ đo quang |
| NOMAD Series | Piezo Motor + Encoder | 15 – 25 | 10 nm | Compact, dễ tích hợp, đa trục |
Newport cung cấp nhiều lựa chọn Piezo Linear Stage với cấu trúc Flexure, Inertia, hoặc Stack Drive, đảm bảo cân bằng giữa tốc độ, độ phân giải và tải trọng cho mọi ứng dụng.
Hướng dẫn lựa chọn model phù hợp
-
🔹 Yêu cầu độ phân giải nanomet và phản hồi nhanh: chọn PZA Series (Piezo Stack).
-
🔹 Cần hành trình dài, di chuyển nhanh: chọn PILine® Piezo Inertia Motor.
-
🔹 Ứng dụng đo quang học hoặc hiển vi: chọn NPS Series (Piezo Flexure Stage).
-
🔹 Ứng dụng đa trục, cần encoder và điều khiển tự động: chọn NOMAD Series.
-
🔹 Môi trường chân không hoặc nhiệt độ ổn định cao: dùng các model Vacuum-Compatible của Newport.
Tài liệu tham khảo chính hãng
📘 Piezo Motor Linear Stages – Newport Corporation
📘 Nanopositioning Piezo Stage Guide
📘 Nanopositioning Solutions
Liên hệ báo giá & tư vấn kỹ thuật
📍 Website: www.doluong.net
✉️ Email: sales@doluong.net
📞 Hotline: 0906 814 777
💬 Hỗ trợ kỹ thuật, tư vấn cấu hình và cung cấp CO/CQ chính hãng.
Reviews
There are no reviews yet.