Direct Drive Linear Motor Stages | Bàn dịch tuyến tính động cơ tuyến tính chính xác cao Newport (MKS Instruments)
Các Direct Drive Linear Motor Stages của Newport | MKS Instruments sử dụng động cơ tuyến tính (Linear Motor) thay cho cơ cấu vít me truyền thống, loại bỏ hoàn toàn khe hở cơ học (backlash) và ma sát.
Kết hợp cùng encoder độ phân giải cao và bearing dẫn hướng siêu chính xác, dòng sản phẩm này mang lại chuyển động mượt, ổn định và độ chính xác tới nanomet, lý tưởng cho đo kiểm, sản xuất bán dẫn, quang học và tự động hóa cao cấp.
Mô tả
Tính năng nổi bật
-
Truyền động trực tiếp (Direct Drive): không có vít me, không ma sát, không trễ cơ học.
-
Encoder tuyến tính độ phân giải cao (sub-nm) đảm bảo phản hồi chính xác tuyệt đối.
-
Tốc độ di chuyển cao (lên tới vài trăm mm/s) với độ ổn định tuyệt đối ở tốc độ thấp.
-
Độ lặp lại ±50 nm, độ ồn cực thấp, phù hợp môi trường cleanroom và lab quang học.
-
Dẫn hướng Crossed-Roller hoặc Air Bearing giúp chuyển động mượt và không trôi.
-
Tải trọng cao, hành trình dài tới 1.000 mm, tùy dòng sản phẩm.
-
Kết nối điều khiển trực tiếp với các controller dòng XPS-D, ESP-LX, hoặc Motion Master.
-
Tích hợp sẵn cáp động lực và tín hiệu, sẵn sàng cho hệ thống tự động hóa.
Ứng dụng trong các lĩnh vực
-
Căn chỉnh quang học, điều khiển vị trí thấu kính, gương, cảm biến.
-
Hệ thống laser micromachining, semiconductor lithography, hoặc inspection.
-
Định vị wafer, submount, hoặc linh kiện chính xác trong sản xuất quang – điện tử.
-
Cơ cấu scanning, metrology, interferometry, nanostage alignment.
-
Hệ XYZ gantry hoặc multi-axis automation trong dây chuyền tự động tốc độ cao.
Các dòng Direct Drive Linear Stage phổ biến của Newport
| Series | Loại motor | Hành trình (mm) | Độ chính xác | Đặc điểm nổi bật |
|---|---|---|---|---|
| XMS Series (Linear Motor) | Linear Servo Motor | 25 – 850 | ±0.1 µm | Hiệu suất cao, phản hồi nhanh, hành trình dài |
| NLS Series | Ironless Linear Motor | 50 – 400 | ±50 nm | Không cogging, chuyển động siêu mượt |
| V6 & IMS-LM Series | Direct Linear Motor | 25 – 300 | ±0.05 µm | Độ ổn định tuyệt đối, dành cho metrology |
| XPS-XLM System | Integrated Linear Motor + Controller | 100 – 600 | ±0.1 µm | Bộ điều khiển & stage đồng bộ, dễ cấu hình |
| Airsled Stage (Custom) | Linear Motor + Air Bearing | 100 – 500 | sub-nm | Chuyển động không tiếp xúc, êm tuyệt đối |
So với các cơ cấu truyền thống, Direct Drive Linear Motor loại bỏ hoàn toàn backlash, cho chuyển động mượt, chính xác và ổn định lâu dài — là chuẩn cao nhất trong hệ thống Motion Control hiện nay.
Hướng dẫn lựa chọn model phù hợp
-
🔹 Cần độ chính xác cao nhất (nanomet): chọn NLS hoặc V6 Series (Linear Motor không lõi).
-
🔹 Ứng dụng hành trình dài, tải lớn: chọn XMS Linear Motor Series.
-
🔹 Tích hợp điều khiển nhanh trong hệ thống tự động: chọn XPS-XLM System.
-
🔹 Môi trường phòng sạch / rung thấp: chọn Airsled Stage (Air Bearing).
-
🔹 Ứng dụng đo kiểm hoặc scanning: ưu tiên Direct Drive Linear Motor thay vì screw drive.
Tài liệu tham khảo chính hãng
📘 Direct Drive Linear Motor Stages – Newport Corporation
📘 Motorized Linear Stage Finder
📘 Motorized Linear Translation Stage Guide
📘 Stage and Controller Compatibility Guide
📘 Motion Control Catalog – Linear Stages
Liên hệ báo giá & tư vấn kỹ thuật
📍 Website: www.doluong.net
✉️ Email: sales@doluong.net
📞 Hotline: 0906 814 777
💬 Hỗ trợ kỹ thuật, tư vấn cấu hình và cung cấp CO/CQ chính hãng.
Reviews
There are no reviews yet.