Thẻ: EUV vacuum system
Lithography – Công nghệ tạo hình vi cấu trúc trong chế tạo bán dẫn
Phần 5: Lithography
Mô tả công nghệ tạo hình vi cấu trúc bằng ánh sáng, từ photolithography truyền thống đến DUV/EUV, kết nối thiết kế vi mạch với quy trình chế tạo vật lý.
