Thẻ: vacuum etching system
Etching – Công nghệ khắc tạo hình trong chế tạo bán dẫn hiện đại
Phần 6: Etching
Phân tích các kỹ thuật khắc vật liệu để chuyển pattern từ lithography vào các lớp màng, bao gồm wet etching và plasma-based dry etching
