Thẻ: wafer pattern transfer
Etching – Công nghệ khắc tạo hình trong chế tạo bán dẫn hiện đại
Phần 6: Etching
Phân tích các kỹ thuật khắc vật liệu để chuyển pattern từ lithography vào các lớp màng, bao gồm wet etching và plasma-based dry etching
Lithography – Công nghệ tạo hình vi cấu trúc trong chế tạo bán dẫn
Phần 5: Lithography
Mô tả công nghệ tạo hình vi cấu trúc bằng ánh sáng, từ photolithography truyền thống đến DUV/EUV, kết nối thiết kế vi mạch với quy trình chế tạo vật lý.
